BOB·半岛广能达-专业RF射频电源自动匹配器和大功率功放供应商

　　半岛综合体育1MHz-400MHz，功率范围从10KW至30KW，是为半导体生产制造和太阳能光伏生产制造设计的新一代功率源，主要应用包括射频溅射BOB·半岛，反应离子刻蚀，射频偏置，多态等离子体，等离子体表面处理BOB·半岛，射频激励CO2激光器系统和电感耦合等离子体系统等。

　　1：高功率密度，在一个标准19英寸宽、4U(178mm)高的机箱内集成了高达12KW的射频输出功率，并且交流转直流的直流电源也在其中，减小了对客户使用时场地的要求。

　　2：快速智能的驻波（VSWR）保护功能BOB·半岛，Zeta系列射频电源的驻波保护能在负载出现异常后毫秒级的时间内快速启动，可以及时的可靠的保护射频电源不因负载的异常而损坏。

　　3：高可靠性高稳定性BOB·半岛，我们富有经验的工程师精心设计的射频功放在任何负载下都能稳定的输出，负载在全Smith图上无杂波。

　　4：先进的射频功率测量系统BOB·半岛，Zeta系列射频电源的测量系统采用基于FPGA的数字中频测控技术，能达到最严苛的半导体制程的功率精度要求。

　　5：先进的控制系统，Zeta系列射频电源功率控制系统采用双PID控制算法，能精确的稳定的控制射频电源的输出功率。

　　Zeta系列射频电源通过远程控制（使用Analog I/O 端口、串口或者网口控制）

　　打造行业品牌，十多年的光辉历程是品质不断提升，技术持续创新的射频电源奋斗史