BOB·半岛化合物半导体领域新增2起产学研合作

　　半岛综合体育8月19日，据上海万业企业股份有限公司（以下简称：万业企业）官微消息，万业企业8月16日与国家第三代半导体技术创新中心（苏州）在苏州纳米城举办的国家第三代半导体技术创新中心（苏州）2024年发展战略研讨会现场举行了《协同创新发展全面战略合作协议》签署仪式。

　　根据协议，双方将瞄准第三代半导体产业应用需求，围绕先进半导体设备和工艺关键技术，共同培育和承担各类重大项目。

　　具体来看，此次携手合作，双方将共建国家第三代半导体创新中心先进化合物半导体器件制造中心与第三代半导体工艺技术开发平台，围绕先进半导体设备和工艺关键技术，设置研发课题，联合攻坚关键工艺节点核心工艺技术问题，合力开展关键工艺技术开发，推动第三代半导体芯片制程量产关键设备国产化、标准化，实现技术自主可控。

　　资料显示BOB·半岛，国家第三代半导体技术创新中心（苏州）由江苏第三代半导体研究院有限公司作为主体承建单位，聚焦第三代半导体在新型显示、5G通信、电力电子、环境与健康等领域的应用，开展第三代半导体高质量材料制备技术、器件外延技术、芯片工艺技术、应用模块设计与集成技术、相关装备技术等关键共性技术研发和成果转移转化，建立覆盖第三代半导体全产业链条、全体系的创新平台。

　　万业企业成立于1991年10月，是一家半导体设备材料厂商。近年来，万业企业陆续收购凯世通、Compart Systems，成立嘉芯半导体，持续加大集成电路在公司整体业务中的比重。

　　目前，万业企业已形成多个半导体前道核心设备产品线，业务覆盖集成电路离子注入机、刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等多类主制程设备以及尾气处理等支撑制程设备.

　　作为万业企业控股子公司，凯世通专注于为下游晶圆厂提供覆盖逻辑、存储、功率、CIS四大应用领域的设备。其自主研发生产的低能大束流离子注入机和超低温离子注入机，已经率先通过了国内多家重点12英寸晶圆厂的验证验收，并实现了产业化应用BOB·半岛。

　　凯世通自去年开始研发投入多款面向细分领域的离子注入机，包括SOI氢离子注入机BOB·半岛、6/8英寸碳化硅高温离子注入机、中束流离子注入机BOB·半岛、超高能离子注入机等特色工艺设备。

　　8月15日，据“武进国家高新区”官微消息，武进国家高新区-常州大学化合物半导体创新联合体正式签约揭牌。

　　该联合体建设单位主要有常州大学、西安电子科技大学、武进区人民政府、武进国家高新区管委会以及纵慧芯光BOB·半岛、承芯半导体等化合物半导体产业链企业。联合体一期建设投入经费1000万元，建设期两年，拟设立科研创新计划项目不低于40项。

　　据悉，武进国家高新区聚焦化合物半导体，以化合物半导体制造、特色集成电路设计、半导体核心材料与设备为产业发展重点方向，目前累计引进落户了纵慧芯光、承芯半导体、快克芯、臻晶半导体、圣创半导体、毫厘智能等60多个产业链项目。

　　其中，纵慧芯光成立于2015年，是国内较早从事VCSEL激光芯片3D感知应用研发的企业，自有外延产线和封测产线，提供VCSEL激光芯片及模组和外延片的研发制造与服务，核心产品为3D感知应用的VCSEL芯片、激光雷达（LiDAR）高功率VCSEL芯片解决方案。纵慧芯光建设有国内第一条6英寸GaAs外延片生产线。

　　臻晶半导体是一家专业从事第三代半导体碳化硅的液相法晶体生长及衬备研发、生产和销售的厂商。其基于液相法单晶炉制备技术、多元活性助溶技术生产出了低成本6英寸碳化硅晶体。